Der Jenaer Forscher Robert Klas ist für die Entwicklung kompakter Hochleistungs-EUV-Quelle mit dem Hugo-Geiger-Preis ausgezeichnet worden. Er hat ein kompaktes EUV-Lasermodul entwickelt, mit dessen Hilfe sich dieses besondere Licht deutlich leichter und kostengünstiger erzeugen lässt. Anwendungspotenziale sind in der Halbleiterfertigung sowie der Mikroskopie denkbar. Mit seiner Doktorarbeit, die in Kooperation zwischen der Universität, dem Helmholtz-Institut und dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF entstanden ist, liefert Klas die bislang leistungsstärkste laserähnliche EUV-Quelle im Labormaßstab mit einer Durchschnittsleistung von 10 Milliwatt. Das ist hundertmal mehr Leistung als noch zu Beginn seiner Promotion in vergleichbaren Systemen üblich. Damit kann die EUV-Forschung in Zukunft unabhängig von wenigen, aufwändig zu unterhaltenden Großanlagen werden. Noch dazu kostet der kompakte Aufbau nur einen Bruchteil. cd/Foto: Fraunhofer IOF
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